該氣相沉積設(shè)備主要用于關(guān)鍵器件表面涂層的制備，而溫度是影響氣相沉積涂層質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù)，目前常規(guī)氣相沉積設(shè)備的使用溫度最高只有2000℃，本項目開發(fā)的氣相沉積設(shè)備使用溫度可達到2500℃，將會大大改善氣相沉積涂層的質(zhì)量，從而實現(xiàn)器件性能的提升。
  可達到如下性能：
  （1）沉積室溫度：最高2600℃，2500℃下可持續(xù)工作1小時以上，升降溫速率1℃/min可控，200~3000℃可測；
  （2）沉積室壓力：300~3000Pa穩(wěn)定可控；
  （3）沉積室尺寸：直徑300mm，高600mm；
  （4）氣體種類：Ar、N2、CH4/C3H8，要求流量可控，下進上出；
  （5）物料下進下出，裝卸方便；
  （6）報警保護：缺水、短路、過流、過壓報警保護；
  （7）環(huán)保要求：配有氣體過濾系統(tǒng)，最終排出尾氣達到國家環(huán)保要求。